普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，是一款能提供定性化泄漏檢測(cè)的檢漏儀，在進(jìn)氣口壓力100hPa就能進(jìn)行檢測(cè)。德國(guó)普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM340以其強(qiáng)大的抽送系統(tǒng)為特征，且具有油式和干式兩個(gè)版本。易操作性、超快的響應(yīng)時(shí)間以及較短恢復(fù)時(shí)間都是此等緊湊型多用途裝置的凸出特征。即使是在最嚴(yán)苛的檢測(cè)條件下，ASM340都是用于日常檢測(cè)的解決方案。

　　是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵進(jìn)氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀將僅需兩個(gè)按鈕的簡(jiǎn)便操作同先進(jìn)的專業(yè)系統(tǒng)智能結(jié)合起來(lái)。質(zhì)譜儀與真空系統(tǒng)的結(jié)合提供了強(qiáng)大的性能，能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測(cè)試方法。氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛的選項(xiàng)帶來(lái)了巨大的配置靈活性，極富活力的設(shè)計(jì)創(chuàng)意令氦質(zhì)譜檢漏儀能夠在嚴(yán)苛的環(huán)境中可靠地運(yùn)行，滿足苛刻的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。