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愛發(fā)科低溫泵株式會社，是由株式會社愛發(fā)科（當時名稱日本真空技術株式會社）與美國BROOKS AUTOMATIONINC.（當時名稱Helix Technology Corporation CTI事業(yè)部）共同出資、簽訂技術合作協(xié)議而成立的合資公司，誕生于1981年，并從茅崎市的愛發(fā)科總部租借場地之后開始正式經營。4年之后，即1985年終于在現(xiàn)在的茅崎市矢煙，總部工廠籌建成功，使規(guī)模得以進一步擴大
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