OSAKA渦輪分子泵是一種高性能的真空泵，是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。其工作原理基于分子碰撞和動(dòng)能傳遞的原理，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)，會(huì)被驅(qū)向出氣口，再由前級(jí)泵抽除。

　　渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動(dòng)葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度，一般為150~400米/秒。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，因此渦輪分子泵通常由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成，動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列，幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。每兩個(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪，靜葉輪外緣用環(huán)固定，使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙，動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。

　　OSAKA渦輪分子泵的保養(yǎng)方法：

　　1、保持清潔

　　外殼清潔：經(jīng)常保持分子泵外殼的清潔，防止灰塵和雜質(zhì)積累。

　　進(jìn)氣口清潔：每次停機(jī)后，務(wù)必清潔各分子泵的進(jìn)氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞。

　　2、檢查油位和潤滑油

　　油位檢查：定期檢查分子泵油位是否正常，確保油量處于油標(biāo)上下限之間。

　　潤滑油更換：分子泵工作4000小時(shí)以上或一年必須換油一次。如果泵經(jīng)常烘烤或大負(fù)載工作或抽除侵蝕性氣體，潤滑油充注及更新時(shí)間間隔應(yīng)縮短。

　　3、溫度監(jiān)控

　　溫度檢查：正常生產(chǎn)過程中須經(jīng)常檢查分子泵溫度，聽是否有異常震動(dòng)和聲音。

　　4、冷卻系統(tǒng)維護(hù)

　　冷卻水閥操作：在開分子泵前必須打開冷卻水閥；在分子泵的葉輪停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥。

　　水路檢查：當(dāng)出現(xiàn)報(bào)警信息“EF”時(shí)，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢，可用q槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。

　　5、避免沖擊和振動(dòng)

　　防護(hù)措施：分子泵是高旋轉(zhuǎn)機(jī)械，動(dòng)靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。應(yīng)在分子泵入口裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

　　6、故障處理

　　常見故障排除：掌握渦輪分子泵系統(tǒng)的常見故障及排除方法，如在前級(jí)泵工作時(shí)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)不能將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸汽迅速從前級(jí)管路返流到泵的清潔端。