普發(fā)渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　渦輪分子泵的軸承由有油潤(rùn)滑的滾動(dòng)軸承和滑動(dòng)軸承向完q非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤(pán)式葉片和牽引式螺旋槽結(jié)構(gòu)。而且動(dòng)、靜葉片間的間隙很小，葉片很長(zhǎng)剛性差。由于操作錯(cuò)誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因?yàn)槭艽髿庳?fù)載和離心力的作用開(kāi)始彎曲振動(dòng)，超過(guò)動(dòng)、靜葉片的間隙將會(huì)發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時(shí)有發(fā)生，所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問(wèn)題，曾引起過(guò)渦輪分子泵的設(shè)計(jì)者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應(yīng)用與安全運(yùn)行。

　　普發(fā)渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項(xiàng)

　?。?）不能在前級(jí)泵工作時(shí)（前級(jí)管道接通）和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸汽迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。

　　（2）分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。

　?。?）選擇抽氣系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。

　?。?）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)轉(zhuǎn)。

　?。?）分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。